Kindlasti, kuna pooljuhtmed muutuvad keerukamaks ja nende pakendid muutuvad väiksemaks, on võtmeks masinate täpsus, mis asetavad selle pooljuhi surma pakenditesse või substraatidesse. Tootjad on muutnud hädavajalikuks täpse täpsuse mõistmise ja selle, kuidas masina õigsuse säilitamise võime mõjutab saagikust pikas perspektiivis. Pealegi vaidlustatakse lõpptarbijatele tulevikus vaid pooljuhttootmise tulemusi, mis on tingitud suremuse suurusest ja keerukusest. Neil ei tohiks muretseda suremuse masina lisamine, mis toob kaasa kahjude tekitamise ruumipunktide tõttu.
Täpsus hakkab mängima, kui masin on programmeeritud, et liikuda selle praegusest asukohast 100 mm kaugusel. Või nagu ka enamiku tänapäevaste seadmete puhul, kasutab ta visioonisüsteemi, et tekitada positsioonide asukohas teadaolevaid andmeid tasaarvestusi. Täpsus, nagu eespool määratletud, on kõige olulisem parameeter kogumisseadmetele.